- ・固有振动数：约4.0～6.0Hz
- ・高减衰：共振倍率约3倍
- ・高耐久性
- ・付过浮上防止机构
- ・付自动水平调整器
- ・付减衰机构
- ・依据机台规格、可制作客制品
- ・半导体检查装置、液晶检查装置
- ・LaserRepair装置、Inspection装置
- ・SEM、TEM、超精密加工机、光学装置
| 型 式 | NPC-200D | NPC-400D | NPC-800D | NPC-1200D | NPC-1600D | NPC-3200D |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 寸法 (A×B×H)mm |
240×300×127 | 280×330×127 | 360×400×127 | 400×460×127 | 430×500×127 | 480×630×127 |
| 固定寸法 (C×D)mm |
210×270 | 250×300 | 310×350 | 360×420 | 390×460 | 440×590 |
| 质 量 (kg/个) |
20kg | 30kg | 40kg | 60kg | 80kg | 140kg |
| 搭载可能重量 (kg/个) |
150kg | 300kg | 600kg | 800kg | 1,200kg | 2,500kg |
| 水平方法 | 使用水平调整器来维持水平 | |||||
| 供给空气源(MPa) | 0.35～0.44 | |||||
| 附属品 | 气压调节阀(1个)、φ6塑胶管(10m)、T型连结管(2个) | |||||
・本表记载的规格、会有无预告变更外观的情形。
