- ・固有振动数：约3.0Hz
- ・高减衰：共振倍率约3倍
- ・高耐久性
- ・付内部过浮上防止机构
- ・付自动水平调整器
- ・付减衰机构
- ・可依据机台规格客制化
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- ・半导体检查机台
- ・液晶检查机台
- ・LaserRepair机台
- ・Inspection机台
- ・SEM、TEM
- ・超精密加工机
- ・光学机台
| 型 式 | AT-120 | AT-250 | AT-415 | AT-615 | AT-855 |
|---|---|---|---|---|---|
| 规格：A×B (E)mm | 230×230(233) | 230×230(260) | 330×330(340) | 360×360(370) | 420×420(460) |
| 规格： C×Dmm |
210×210 | 210×210 | 300×300 | 330×330 | 390×390 |
| 规格： Hmm |
148 | 148 | 170 | 170 | 170 |
| 质 量 (kg/个) |
7.5kg | 7kg | 15kg | 18kg | 20kg |
| 搭载可能重量(kg/个) | 450kg | 1000kg | 1,500kg | 2,400kg | 3,000kg |
| 固有振动数 | 水平・垂直：约3.0Hz | ||||
| 水平方法 | 使用自动水平调整器来维持水平 | ||||
| 供给空气源(MPa) | 0.4～0.6 | ||||
| 附属品 | 气压调节阀(1个)、φ6塑胶管(10m)、T型连结管(2个) | ||||
・本表记载的规格、会有无预告变更外观的情形。
依据搭载质量 振动传达率变化图（AT-415参考值）
※根据搭载重量的不同，振动传达率会有所变化
直动型与悬臂型自动水平调整器的水平回復精度比较（参考值）
直动型自动水平调整器的水平回復精度
悬臂型自动水平调整器的水平回復精度
